三 化氮（NF3）是一种 无机化合物 ， 化学式 为NF3。它是卤化氮中最稳定的化合物，可以通过氨气和 氟气 在钙的 催化 下制备。三氟化氮具有多种应用，例如作为 氧化剂 用于 氟化氢 激光器 ，以及在半导体、 液晶 和 薄膜太阳能电池 的生产过程中用作 蚀刻剂 。此外，它曾被试做火箭燃料。然而，由于三氟化氮是一种 温室气体 ，能够加剧 温室效应 ，因此有人认为应该限制其使用。
在半导体和TFT-LCD制造的薄膜制程中，三氟化氮扮演着清洁剂的角色。这些清洁剂是气态的，而不是液态的。在半导体制造中， 化学气相沉积 （CVD）机台是主要设备，用于在 晶圆 片上生长薄膜。薄膜可以由硅、 二氧化硅 或其他 金属材料 组成。然而，这些材料不仅会附着在 晶片 上，还会附着在反应室内的墙壁上。当内墙上的二氧化硅积累到一定数量时，会形成微尘粒子，影响 晶圆片 的良率。
因此，在处理一定数量的晶圆片后，每台CVD机台都需要使用含氟气体进行清洗，以去除内壁上的 硅化物 。然而，NF3和 四氟化碳 、C2F6等气体都属于多氟碳化物，是 温室效应 的来源之一。为了减少排放对温室效应的影响，半导体厂会在排放含氟废气之前，将气体在高温下（ 摄氏度 700、800度）转化为 无机化合物 ，以避免破坏 臭氧层 。
总的来说，三氟化氮是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种 强氧化剂 。它在 微电子 工业中作为优良的 等离子 蚀刻 气体得到广泛应用。在蚀刻过程中，三氟化氮裂解为活性 氟化物 ，对硅和钨化合物具有优异的蚀刻 速率 和选择性。它还被广泛用作清洗剂，在芯片制造和高能 激光器 等领域发挥重要作用。然而，需要注意的是，三氟化氮也是一种极强且长寿命的 温室气体 ，其大气负荷在2019年超过了每万亿的2个单位，并且自20世纪末以来每五年翻倍一次。
物理特性
熔点 (101.325kPa)：-206.79℃
沸点 (101.325kPa)：-129.0℃
液体密度(-129℃，101.325kPa)：1540kg/ m3
气体密度(20℃，101.325kPa)：2.96kg/m3相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：2.46
比容 (21.1℃，101.325kPa)：0.3371 m3 /kg
气液容积比(15℃，100kPa)：520L/L
临界温度：-39.3℃
临界压力：4530kPa
临界密度：522kg/m3
临界压缩系数：0.317
熔化热(-206.79℃，101.325kPa)：5.61kJ/kg
气化热(-129℃，101.325kPa)：163.29kJ/kg
比热容 (气体，25℃，101.325kPa)：Cp=751.68J/( 千克 K)
蒸气压(-171℃)：1.333kPa
(-100℃)：470kPa
(-60℃)：2200kPa粘度(气体，25℃，101.325kPa)：0.0183mPa·S
折射率 (气体，25℃)：1.0004416
主要成分：纯品
外观与 性状 ：无色、带霉味的气体。
相对密度(水=1)：1.89( 沸点 ，液体)
溶解性：不溶于水。
主要用途：用作 高能燃料 。
废弃处置方法：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法
三氟化氮， 分子式 ：NF<sub>3</sub>。气体分子量：71.01， 熔点 ：–206.8℃（1 atm ），沸点：–129℃（1atm），临界温度：–39.3℃，临界压力：44.02a tm（4.46MPa），液体密度：1554 kg/m<sup>3</sup>（1atm，沸点时），气体密度：2.95 kg/m（1atm,21℃），水中 溶解度 （1atm，22℃）：1.43×10-5当量浓度。纯净的NF3气体是一种无色无味的气体，当混入一定量的杂质气体后颜色发黄，同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃，但能助燃。当温度超过350℃时，三氟化 氮气 体会缓慢分解，分解时产生强氧化性氟。因此，在高温下它是一种 强氧化剂 。CAS号：7783-54-2。危险性类别：第2.3类 有毒气体 ，在空气中的最高允许含量为29mg/m
化学性质
稳定性
化学性质稳定， 一般条件 下在水与碱溶液中均不反应（三校合编 无机化学 第四版下册534页），只有当放电时在水中才发生NF3+2H2O==放电==HNO2+3HF。F的 电负性 大于H，因此NF3中的孤对 电子云 由于向F偏移而导致电子云密度比在NH3中低， 配位 能力下降，因此 质子 化时放热小于NH3。偶极矩与上面类似，大概就是由于电负性的增强导致偶极矩的降低。
急性毒性
LD50
LC50：19000mg/ m3 ，1小时( 大鼠 吸入)；5600mg/m3，4小时( 小鼠 吸入)
用途
三氟化氮主要用途是用作 氟化氢 氟化气高能 化学 激光器 的氟源，在 过氧化氢 与 F2 之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所 HF- OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是 微电子 工业中一种优良的等离子 蚀刻 气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比 四氟化碳 和四氟化碳与 氧气 的混合气体有更高的蚀刻 速率 和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的 集成电路 材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着 纳米技术 的发展和 电子 工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。
危险概述
三氟化氮是低毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，对人体组织有腐蚀作用。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和 腹泻 。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼，使牙齿生黄斑，骨骼成畸形。具有强氧化性。与 还原剂 能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。与 易燃物 (如苯)和 有机化合物 (如糖、 纤维素 等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解，甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡，但出现高铁血红蛋白血症，当吸入10000ppm·l小时有死亡，在2500ppm时吸毒后4小时死亡。最高容许浓度：10ppm(29mg/m3)。
急救措施
皮肤接触
脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。若有灼伤，就医治疗。
眼睛接触
立即翻开上下眼睑，用流动清水冲洗15分钟。就医。
吸入
迅速脱离现场至空气新鲜处。保持 呼吸道 通畅， 呼吸困难 时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
泄漏处理应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给 正压 式呼吸器，穿 防毒服 。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
消防措施
强氧化剂 。受热或与火焰、电 火化 、 有机化合物 等接触能燃烧，甚至爆炸。与 易燃物 （如苯）和 可燃物 （如糖、 纤维素 等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与 还原剂 能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。
有害燃烧产物： 氟化氢 。
灭火方法：消防员必须穿全身防火防毒服，在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫。
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，应急处理人员戴 正压 自给式呼吸器，穿 化学 防护服。切断火源。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。法规信息：化学危险品安全管理条例（1987年2月17日国务院发布），化学危险品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677号），工作场所安全使用化学危险品规定[1996]劳部发423号）法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志（GB13690－92）将该物质划为第2.3类 有毒气体 。
注意事项
操作注意事项
严加 密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸 过滤式防毒面具 （ 半面罩 ），戴 化学 安全防护眼镜 ，穿防毒物渗透工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、 可燃物 。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与 还原剂 接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离 火种 、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、 还原剂 、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
职业接触限值
中国 麦金塔 (mg/ m3 )： 1
苏联 MAC(mg/ m3 )：未制定标准
TLVTN： ACGIH 10ppm,29mg【F】/m3
TLVWN：未制定标准
工程控制： 严加 密闭，提供充分的局部排风和全面通风。
呼吸系统 防护：空气中浓度较高时，应该佩戴自吸 过滤式防毒面具 （ 半面罩 ）。
眼睛防护：戴 化学 安全防护 眼镜 。
身体防护：穿防毒物渗透工作服。
手防护：戴橡胶手套。
其他防护：工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。
工作时必须要保护皮肤。 气瓶 要远离火种、热源、应与 有机化合物 、 可燃物 、油脂、 还原剂 及氢分开存放。
NF3为腐蚀性气体，在<200℃时可用 耐酸钢 、铜、蒙乃尔。在更高的温度可用 和蒙乃尔。可以用 F4 、 三氟氯乙烯 没药树 和 聚三氟氯乙烯 聚合体。灭火可用雾状水和泡沫。泄漏的气体可用 排风机 排送至通风橱内。废气或废液要用还原剂(酸式 亚硫酸钠 、 亚铁盐 等)溶液处理后，用 碳酸钠 或 稀盐酸 中和，再用大量水稀释后排入下水道。
运输信息
危险货物编号： 23016 UN编号： 2451
包装类别： Z01
运输注意事项： 铁路运输 时须报铁路局进行试运，试运期为两年。试运结束后，写出试运报告，报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与 易燃物 或 可燃物 、 还原剂 、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止 日光 曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
环境危害
2008年 联合国环境大会 上，三氟化氮被列为 温室气体 ，其制造温室的能力极强，能在大气中维持550年. 主要在生产 液晶 电视时排放，目前排放量为每年4000吨。
三氟化氮拥有导致全球变暖的强大潜力，其存储热量的能力是 二氧化碳 12000—20000倍，在大气中的寿命可长达740年之久。